相移光刻技术中，使光产生相位差的方法包括：（）A在掩膜板上的透光区域中添加移相器B减小未沉积铬区域的石英板厚度C利用整面透光的石英板，改变局部区域的厚度D改变石英掩膜板的倾斜角